中国有光刻机吗

发布于 2022-04-19 00:14:03      浏览 223

中国有光刻机吗

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1、 中国有光刻机,位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机,形成产品系列初步实现海内外销售。正在进行其他各系列产品的研发制作工作。

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